X線検査機：マイクロフォーカス
マイクロフォーカスX線検査装置 TOSMICRON-CH4090FD
- メーカー名
- 東芝ITコントロール株式会社
- 特徴
- 高性能Ｘ線発生器
90kVの密封型マイクロフォーカスＸ線発生器を搭載しました。
メンテナンスフリーで扱いやすい発生器です。
フラットパネルディテクタ
画像表現能力が高く、歪みのない鮮明な画像が得られるフラットパネル型検出器を採用しました。
多方向検査
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に傾斜軸を加え、斜め方向からの観察が可能になりました。
豊富な機能
トラッキング機能、マップ機能、BGAボイド計測機能など豊富な機能を標準装備しています。 - 仕様
- 基本仕様
型式 TOSMICRON-CH4090FD
X線発生装置 90kV
焦点寸法 5μm
X線検出器 FPD（フラットパネルディテクタ）
倍率 約160倍
試料テーブルサイズ 400×350 mm
本体外形寸法 W1050×D1050×H1430 mm
本体質量 約620kg
